三坐标测量仪气浮轴承的性能要求

三坐标测量仪的导轨是保证机器平稳、高精度运动的关键，目前主要采用气浮导轨及直线滚珠导轨两种形式。

气浮导轨的核心是气浮轴承（空气轴承），利用气浮轴承小孔节流形成气腔内的高压，在导轨和气浮轴承间形成具有一定承载能力和刚性的薄膜。气浮导轨具有无摩擦及无磨损的特性，由于均差效应，运动的局部直线度及直角摆动较小。精度较高的三坐标测量机一般都采用气浮导轨。

气浮轴承的性能四个要求：即承载能力、承载刚性（气浮间隙每变化一微米承载能力的变化）、耗气量、抗气振能力。其他的要求还包括防锈性能、安装的工艺性，支承等的载荷设计亦不能忽略。对超高精度测量机，气浮间隙及气腔压力的稳定至关重要，超高精度测量机往往设置气浮轴承压力检查引出孔。

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