影像测量仪测量时先对焦对准,再读数,最后计算处理。读数来自于光栅系统,对焦对准依靠显微镜光学系统,还有一个有效正确的照明光源直接影响测量效果和精度。另外环境条件也是影响测量精度不可忽视的因素。通过分析,可以归纳出以下的误差来源:
1.光栅计数尺的误差;
2.工作台测量轴垂直度的误差;
3.工作台移动时存在角摆和直线度的误差;
4.显微镜光轴与工作台面不垂直产生的误差;
5.光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差;
6.测量时室内温度带来的误差。
可以看出很多误差来至于硬件误差,这些在仪器制造过程中已经形成并固定下来,无法改变,所以选择一台零部件优质,结构完美,控制系统稳定,测量精度高的影像测量仪很重要。
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